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招標(biāo)代理公司（立即查看） 受業(yè)主單位（立即查看） 委托，于2025-11-06在采購與招標(biāo)網(wǎng)發(fā)布 金屬膜及介質(zhì)膜干法刻蝕系統(tǒng)項(xiàng)目招標(biāo)公告。現(xiàn)邀請全國供應(yīng)商參與投標(biāo)，有意向的單位請及時(shí)聯(lián)系項(xiàng)目聯(lián)系人參與投標(biāo)。 投標(biāo)邀請金屬膜（略）項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件。招標(biāo)項(xiàng)（略）（招標(biāo)（略）公司西安飛行自動(dòng)控制研究所（招標(biāo)人）的委托，對該項(xiàng)目進(jìn)行國際公開招標(biāo)采購。1.招標(biāo)范圍1.1貨物名稱：金屬膜（略）1.2招標(biāo)編號(hào)：（略）***********A（略）.3項(xiàng)目概況：本次金屬（略）設(shè)備招標(biāo)采購旨采滿足科研生產(chǎn)需求，其包含全自動(dòng)綜合反應(yīng)離子刻蝕機(jī)1臺(tái)和金屬膜干法刻蝕機(jī)1臺(tái)，其中全自動(dòng)綜合反應(yīng)離子刻蝕機(jī)包含SiO2工藝腔和LN工藝腔各1個(gè)，金屬膜干法刻蝕機(jī)包含金屬工藝腔1個(gè)、去膠工藝腔1個(gè)。更多指標(biāo)詳見第八章技術(shù)規(guī)格。金屬（略）主要技術(shù)指標(biāo)如下：1.SiO2工藝腔：刻蝕速率≥（略）nmmin（SiO2）；選擇比≥1.5SiO2：PR；側(cè)壁傾（略）≥（略）°（要求PR側(cè)壁傾（略）≥（略）°）；片內(nèi)均勻性≤3%；深寬比≥3:1（SiO2，2um線寬）；2.LN工藝腔：刻蝕速率≥（略）nmmin；選擇比≥0.5LN：PR；側(cè)壁傾（略）≥（略）°（要求PR側(cè)壁傾（略）≥（略）°）；片內(nèi)均勻性≤5%；3.金屬工藝腔：刻蝕速率≥（略）nmmin（Al）；選擇比≥2Al：PR；側(cè)壁傾（略）≥（略）°；片內(nèi)均勻性≤5%；4.去膠腔：去膠速率≥（略）nmmin；片內(nèi)均勻性≤（略）%；片間均勻性≤3%；1.4數(shù)量：1套。1.5交貨期：合同簽訂后8個(gè)月內(nèi)到貨。1.6（略）西安飛行自動(dòng)控制研究所指定地點(diǎn)。2.對投標(biāo)人的資格要求2.1投標(biāo)人必須是響應(yīng)招標(biāo)的法人或其他組織，具有獨(dú)立承擔(dān)民事責(zé)任能力。2.2本次招標(biāo)接受代理商投標(biāo)，代理商必須獲得制造商的合法授權(quán)，提供制造商授權(quán)書。授權(quán)書包括制造商直（略）開具的（（略）的關(guān)系說明，并由雙方簽字或者蓋章）。2.3本項(xiàng)目不接受聯(lián)合體投標(biāo)。2.4投標(biāo)人必須向招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)（略）并進(jìn)行登記才具有投標(biāo)資格。3.招標(biāo)文件獲取3.1凡有意參加投標(biāo)者，請于（略）年（略）月（略）日至（略）年（略）月（略）日（略）時(shí)北京時(shí)間，（略）（http:（略）.com）（略）匯款底單和（略）,（略）不予受理。如有疑問，請致電（略）服務(wù)熱線（略）-（略）-（略）。3.2招標(biāo)文件售價(jià)人民幣（略）或（略）美（略），售后款項(xiàng)不予退還。潛在投標(biāo)人應(yīng)通過本鏈接:https:（略）.cnk.action?kpdm=5QCPZTjh=（略）招標(biāo)文件費(fèi)用，（略）后請自行提交電子發(fā)票申請需再次進(jìn)入鏈接（略）消費(fèi)記錄后填寫開票信息，電子發(fā)票將自動(dòng)（略）至申請時(shí)所填（略）。潛在投標(biāo)人將付款憑證（形式不限（略），經(jīng)招標(biāo)人代理機(jī)構(gòu)確認(rèn)后，才能獲得招標(biāo)文件的（略）權(quán)限。3.3投標(biāo)人必須在（略），（略）與電子簽章，否則無法投標(biāo)。（詳見（略）相關(guān)說明）。4.投標(biāo)文件的遞交4.1投標(biāo)文件遞交的截止時(shí)間（投標(biāo)截止時(shí)間，下同）為（略）年（略）月（略）日9時(shí)（略）（北京時(shí)間），投標(biāo)人應(yīng)在截止時(shí)間前通過（略）（http:（略）.com）（略）加密的電子版投標(biāo)文件，并在此時(shí)間前遞交單獨(dú)密封的紙質(zhì)版投標(biāo)文件（略）號(hào)西安亞（略）會(huì)議室。4.2逾期送達(dá)的投標(biāo)文件，（略）將予以拒收。4.3投標(biāo)人未按要求（略）加密電（略）無法獲取、解密投標(biāo)人（略）的電子版投標(biāo)文件，招標(biāo)人不予受理。5.開標(biāo)開標(biāo)時(shí)間同投標(biāo)文件遞交的截止時(shí)間，開標(biāo)地點(diǎn)同投標(biāo)文件遞交地點(diǎn)。6.發(fā)布公告的媒介本次招標(biāo)公告同時(shí)在（略）、中國（略）和（略）上發(fā)布。7.聯(lián)系方式（略）公司西安飛行自動(dòng)控制研究所地址：（略）與（略）口東南（略）郵編：（略）聯(lián)系人：（略）：（略）**********項(xiàng)目負(fù)責(zé)人：（略）**********、（略）**********傳真：（略）**（略）文